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镀膜
光学镀膜

光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜。


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△IBS蒸镀

真空镀膜机离子束溅射(IBS)镀膜离子束溅射法,简称IBS。这是用离子源发出离子,经引出、加速、聚焦,使其成为束状,用此离子束轰击置于高真空的靶,将溅射出的原子进行镀膜。
离子源是IBS装置中最重要的部分,离子源通常由产生离子的放电室引出并加速(或减速)离子的网状电极群,以中和离子电荷的灯丝所构成。这种离子源的特点是装备有多极磁场和多孔式离子引出系统,容易引出大直径大电流的离子束。

 

IBS镀膜产品的优势:

损伤阈值高

环境稳定性好

机械性能强

IBS镀膜产品的劣势:

镀膜成本高

 


IBS的产品:高功率光学元件

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△离子辅助蒸镀

离子束辅助沉积镀膜(Ion Assisted Deposition),简称IAD。它是在热蒸发镀膜的同时用一束离子束对基片施以某种工作气体(如Ar、N2)的离子轰击,利用离子束辅助沉积技术使离子轰击沉积中的薄膜,改善薄膜性能,外来离子对凝聚的粒子的动量传递,使得凝聚粒子的能量和稳定性增加,从而导致很高的堆积密度,改善膜层的光机性能,实现在室温下的冷镀。

 

IAD镀膜产品的优势:

膜层组织致密,耐蚀性好

成膜速率高

镀膜成本低

IAD镀膜产品的劣势:

离子镀的应用有一定限制

基片温度较高

淀积的薄膜中含气较高

 

 IAD的产品:光学元件

(如:ftx交易所新手教程,窗口片,ftx官网等)