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镀膜
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PARAMETER

E-beam+IADIBSAPS
沉积率~5A/sec1-3A/sec3-8A/sec
镀膜区域
300cm^2>2000cm^2
温度
镀膜时温度范围20-300°C20-150°C20-200°C
镀膜层数~50Up to 200Up to 80
密度密集接近密集密集
耐久性、附着性非常好非常好
适度敏感性
老化效应
内应力~100 MPaFew 100 MPa~100 MPa
损伤阈值